全球第一家!台积电官宣2nm工艺:2024年投产
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近年来,摩尔定律已经基本失效,或者越来越慢,但在半导体工艺领域,一些巨头正在崛起。英特尔终于进入了10nm工艺时代,明年将转向7nm,而台积电和三星已经完成了7nm工艺的布局,正朝着5nm和3nm迈进。现在台积电正式开始2nm工艺的研发,工厂已安装在台湾新竹南方科技园区,预计在2024年投入生产,时间步伐还相当快。
根据台积电的指标,2nm工艺是一个关键节点,Metal Track(金属单元高度)保持在与3nm相同的5倍,Gate Pitch(晶体管栅极间距)降低到30nm,Metal Pitch(金属间距)降低到20nm,比3nm小23%。台积电没有公开2nm工艺所需的技术和材料,再看一下晶体管结构图,目前还没有明显的变化,在硅半导体工艺中能够继续以这种方式压制,真是个奇迹,接下来就让我们来看看1nm是否能做到。
当然,在此之前,台积电还需要连续通过多个工艺节点,如7nm+、6nm、5nm、3nm等。其中,EUV极紫外光刻技术在7nm+首次被引入,并已进入批量生产。6nm只是7nm的升级版本,将于明年第一季度进行试运行生产。5nm将全面引入极紫外光刻技术,并开始高风险的试生产,预计将于明年年底量产,届时Apple A14和AMD第五代Ry Dragon(Zen4)将采用。3nm将于2021年试生产,2022年量产。三星已经计划了3nm,并计划在2021年进行大规模生产。
[来源:高速技术作者:上文Q]