「复享光学」发布ZURO系列光谱仪 助力中国半导体产业国产化

2022年9月，上海福享光学有限公司（以下简称“福享光学”）通过与主客户的深磨和生产线验证，完成了ZURO系列光谱仪产品用于蚀刻应用场景的研发和量产引进，为集成电路行业提供了6、8、12英寸工艺蚀刻工艺的光谱检测解决方案。

为了满足金属蚀刻、单多晶硅蚀刻、复合蚀刻、高速清洗等应用场景的需要，ZURO系列光谱仪符合半导体行业标准，具有信号精度、长期稳定性、晶圆厂生产环境适应性等特点。该系列产品具有灵敏度高、信噪比高等优点，单帧采集最大动态范围超过400001，优于国外同类产品，可有效提取深孔或多晶硅蚀刻过程中的弱信号。此外，ZURO系列光谱仪中的ideaEPD软件支持定制端点算法、工艺端点分析、快速采样监测和蚀刻深度监测等功能，可同时监测多达10个空腔。丰光完成了ZURO系列产品的国内验证和量产准备工作，为客户进行差异化定制开发，解决重点客户关键光学元件供应安全问题。目前，Fun Optics的多系列光谱模块产品已获得众多半导体客户的验证、生产引进和小批量订单。随着需求响应的不断深化和工程参数的不断优化，冷凝光器件逐渐从起始阶段进入发射阶段，用光谱硬技术支撑产业发展。十年来，深入挖掘微纳米光电子领域，开发智能全光谱技术，专注于光子学与人工智能的融合，形成算法驱动的深度光谱平台。成为中国领先的芯片级制造和定量测试设备关键部件光谱模块供应商之一。菲顺光学的创始团队来自国内高级光子学研究所，进一步吸收了国内外微纳米光子学领域的知名研究人员和半导体行业专家，拥有近百项知识产权。2019年，菲顺光学获批成立“上海微纳米工艺智能检测技术研究中心”。这是中国首个在半导体领域开展微纳米过程光度检测技术研究的应用平台。为进一步探索集成电路领域光检测的基础技术，公司于2021年与复旦大学合作成立了“光检测光集成化产业-产业联合研究中心”，以解决微纳米制造业中更多前沿的共性关键技术和工艺问题。

据Fun Optical介绍，随着集成电路工艺先进技术的不断提高和新型光电芯片应用的兴起，晶圆制造工艺对量检测的需求越来越突出。光衍射极限的存在使得成像技术难以满足工业发展的需要，光谱分析技术存在于各种微纳米制造设备和定量检测设备中，成为集成电路和光电芯片工业制造工艺的关键技术之一。半导体器件是半导体工业的基础。半导体工艺中最重要的阶段是晶圆前的制造。过程内和过程间控制，如光刻、薄膜沉积、蚀刻、掺杂和表面处理，需要各种光学和电气测试方法，这是确保晶圆产量的关键。随着工艺精度的提高，光学检测的比例将进一步扩大。目前集成电路制造过程中的量检测设备与深度光谱技术密不可分。据调研报告显示，目前我国半导体设备国产化率不足10%，关键零部件不足1%，光谱模块几乎为零，“产业链综合国产化”已成为这个时代的一大主题。作为国内光学领域的龙头企业，丰光在芯片过程控制中提供各种光谱模块和量检测解决方案。经过10年的行业积累，公司拥有3000多家优质客户，进入半导体行业龙头供应商名单，与170多家半导体、高端材料、生物医药企业形成交流与合作。加强中国的微纳米制造业是未来光学领域的优先事项。Fun Optics创始人尹浩伟博士表示，明年公司将继续专注于高端光谱模块的质量提升、技术迭代、产能扩张，进一步满足下游设备企业的需求。2021年完成由半导体头产业基金核心集团、上海科技集团、中创兴、长江证券、海通证券、泰坦科技领投的超过1亿元的B轮融资。据悉，乐光将在不久的将来启动C系列融资，为扩大高端人才、扩大生产基地、升级研发设备、在微纳米制造领域的前沿技术布局等战略方向提供资金。